SIGMAKOKI/西格玛光机迈克尔逊干涉仪

SIGMAKOKI/西格玛光机迈克尔逊干涉仪

迈克尔逊干涉仪 / IFS2-MI-25

这是测试样品面精度的，最*用的干涉仪之一。利用反射镜的2个垂直光路构造是其最大的特点。

干涉条纹反映了2个反射镜镜面形状的差异。

品名	型号	数量	光轴高度[mm]
激光组件	IFC2-L	1	171
空间滤波器组件	IFC2-SF	1	165
准直镜组件	IFC2-CL	1	160
反射镜组件	IFC2-M	2	173
半透半反镜组件	IFC2-BS	1	178
屏幕组件	IFC2-SC	1	222.5

SIGMAKOKI/西格玛光机迈克尔逊干涉仪

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