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CANON ANELVA佳能安内华 复合真空计
产品简介
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产品分类| 品牌 | Canon anelva/佳能真空 | 应用领域 | 化工,综合,半导体,机械设备 |
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CANON ANELVA佳能安内华 复合真空计 M-361CP-SP N25
CANON ANELVA佳能安内华 复合真空计 M-361CP-SP N25
M-361CP-SP N25 是佳能安内华 M-361CP 系列复合式真空计，集成冷阴极电离规 + 皮拉尼规两种检测原理，单台实现超宽量程真空测量，N25 代表 NW25 快卸法兰接口，SP 型号自带 2 组设定点继电器输出。传感器电极采用钼材质、钨丝、氧化铝绝缘件，壳体 SUS304 不锈钢，稳定性强，不易受轻微工艺气体污染影响；具备 0~10V 模拟量信号输出，可直连 PLC 采集真空数值，两路继电器触点用于真空阈值报警、泵启停联锁，自带按键零点校准，防护等级 IP40，满足半导体、镀膜设备的真空监测需求，原装正品，是高真空到粗真空一体化监测优选。
型号：M-361CP-SP N25测量原理：冷阴极 + 皮拉尼复合规测量范围：1×10⁻⁷ Pa ～ 1×10⁵ Pa精度：1×10⁻⁶~1×10⁴Pa ±30%；1×10⁴~1×10⁵Pa ±50%重复性：1×10⁻⁶~1×10⁴Pa ±5%供电：DC15～30V功耗：2.4W模拟输出：0～10V DC开关输出：2 路继电器触点，DC30V 1A法兰规格：NW25 KF25 快卸法兰连接器：D-Sub9 针工作温度：5℃～55℃存储温度：-20℃～70℃防护等级：IP40认证：CE、RoHS外形尺寸：50×50×110mm
半导体真空工艺、真空镀膜机、溅射设备、真空炉、冻干设备、科研真空腔体、检漏设备、锂电真空封装、真空热处理。
ANELVA 真空计，佳能安内华真空规，M-361CP-SP N25，冷阴极皮拉尼复合真空计，NW25 真空计，半导体真空检测仪表
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