MIYUKI美幸辉闸阀 GAR-J300伺服直驱连续开度调节，支持 PID 闭环稳压，阀体最高 150℃烘烤除气。半导体镀膜、CVD、大型真空炉、卷材真空设备主管路压力调节专用。大口径 DN300，伺服无级调节，能稳定控制腔室真空压力，小开度调节稳定性优秀，压力波动小；

MIYUKI美幸辉闸阀 GAR-J300

MIYUKI美幸辉闸阀 GAR-J300

一、核心技术参数

1. 公称口径：300A（DN300），法兰标准 JIS（J 代表 JIS 法兰，可定制 ISO-F、CF 法兰）

2. 驱动：伺服电机直驱，无齿轮无背隙；开度 0～全闭连续可调，阀位分辨率≤0.1°，控制信号支持 0-5V/0-10V/4-20mA，搭配 MGCS-11 控制器支持 RS485 通讯，可接入 PLC 做 PID 闭环稳压

3. 压力区间：10⁵Pa（常压）～10⁻⁶Pa 高真空，覆盖粗真空、中真空、高真空全区间

4. 漏率指标（氦检）

• 阀座内部泄漏：≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s

• 阀轴外部泄漏：≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s

5. 接触介质材质

• 过流腔体、闸板：SUS304 不锈钢，内腔镜面电解抛光，低放气，无尘室组装

• 密封件：FKM 氟橡胶 O 型圈（标准款）；可选全金属密封版本

6. 温度参数

• 阀体最高烘烤温度：150℃，可在线烘烤除气，去除腔体吸附水汽、残气

• 伺服电机环境使用上限：40℃，电机不可烘烤，高温工况需做好隔热

7. 断电保护：标配电磁抱闸，停电后锁死当前开度；可定制版本实现断电自动全关，防止大气倒灌进入真空腔

8. 结构特点：一体式薄型结构，低噪音运行；从全开至全闭全程可节流调节，不只是开关阀，兼具压力调节功能

二、适用工况（重点）

✅适用介质

干燥洁净工艺气体：氮气、氩气、氧气、等离子工艺气体等；适配无颗粒、无大量油雾的洁净真空环境。

限制：FKM 密封版本不适合强腐蚀卤素、浓强酸介质；强腐蚀工况需要替换特种密封。

✅推荐工况场景

1. 压力范围：常压一直到 10⁻⁶Pa 高真空，适合大型真空腔体、主抽管路的压力稳定控制；常用于镀膜、CVD、PVD、真空热处理、卷材真空设备。

2. 温度工况

• 长期连续使用：常温～120℃

• 间歇烘烤除气：最高短时 150℃（仅阀体，电机必须隔热远离高温区）

• 环境温度：控制柜电机一侧环境必须＜40℃，否则电机过热报警、寿命衰减。

3. 洁净等级：半导体、光学薄膜、真空镀膜洁净制程，阀体内部低释气，闸板结构运行几乎不产生微颗粒。

4. 管路背压：具备双向密封能力，可承受反向压差，停机状态可可靠隔离真空腔体，防止真空泄漏。

⚠️工况禁忌（选型务必告知客户）

1. 介质含有大量粉尘、金属粉末：会磨损 FKM 密封圈，大幅缩短寿命；粉尘工况不推荐。

2. 电机环境＞40℃：必须增加隔热板 / 风冷散热，不可直接高温烘烤电机。

3. 强腐蚀含氟、强氧化剂介质：标准 FKM 密封不兼容，必须单独定制特种密封。

4. 液体介质：此阀为真空气体专用阀，不能用于液体管路。

三、产品优势

1. 大口径 DN300，伺服无级调节，能稳定控制腔室真空压力，小开度调节稳定性优秀，压力波动小；

2. 超低氦检漏指标，满足半导体精密真空工艺严苛泄漏要求；

3. 阀体可烘烤，降低腔体放气，适合需要除气的高真空工艺；

4. 伺服直驱无齿轮，无背隙，阀位重复精度高，长期使用漂移小；

5. 薄型阀体，节省真空机组安装空间，大口径管路选型。