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MIYUKI美幸辉闸阀 GAR-J300伺服直驱连续开度调节,支持 PID 闭环稳压,阀体最高 150℃烘烤除气。半导体镀膜、CVD、大型真空炉、卷材真空设备主管路压力调节专用。大口径 DN300,伺服无级调节,能稳定控制腔室真空压力,小开度调节稳定性优秀,压力波动小;
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